লোডিং...
Nondestructive shape process monitoring of three-dimensional high aspect ratio targets using through-focus scanning optical microscopy
Low-cost, high-throughput and nondestructive metrology of truly three-dimensional (3-D) targets for process control/monitoring is a critically needed enabling technology for high-volume manufacturing (HVM) of nano/micro technologies in multi-disciplinary areas. In particular, a survey of the typical...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Meas Sci Technol |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
2018
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6512994/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31092982 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1088/1361-6501/aae4c2 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|