High-speed chromatic confocal microscopy using multispectral sensors for sub-micrometer-precision microscopic surface profilometry

A full-field chromatic confocal microscopy (CCM) using a multispectral sensor was developed for quasi-one-shot microscopic 3D surface measurement. An innovative optical configuration employs a digital micromirror device (DMD) and a multispectral sensor is used to realize CCM with full-field area sca...

முழு விளக்கம்

நூற்பட்டியல் விவரங்கள்

முதன்மை ஆசிரியர்கள்:	Liang-Chia Chen, Pei-Ju Tan, Guo-Wei Wu, Chih-Jer Lin, Duc Trung Nguyen
வடிவம்:	Artigo
மொழி:	Inglês
வெளியிடப்பட்டது:	Elsevier 2021-12-01
தொடர்:	Measurement: Sensors
பொருள்கள்:	Chromatic confocal microscopy Multispectral sensor Optical metrology Digital micromirror device Automated optical inspection (AOI)
ஆன்லைன் அணுகல்:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2665917421001288
குறிச்சொற்கள்:	குறிச்சொல்லை சேர்க்கவும் டாக்‌ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!