High-speed chromatic confocal microscopy using multispectral sensors for sub-micrometer-precision microscopic surface profilometry

A full-field chromatic confocal microscopy (CCM) using a multispectral sensor was developed for quasi-one-shot microscopic 3D surface measurement. An innovative optical configuration employs a digital micromirror device (DMD) and a multispectral sensor is used to realize CCM with full-field area sca...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Κύριοι συγγραφείς:	Liang-Chia Chen, Pei-Ju Tan, Guo-Wei Wu, Chih-Jer Lin, Duc Trung Nguyen
Μορφή:	Artigo
Γλώσσα:	Inglês
Έκδοση:	Elsevier 2021-12-01
Σειρά:	Measurement: Sensors
Θέματα:	Chromatic confocal microscopy Multispectral sensor Optical metrology Digital micromirror device Automated optical inspection (AOI)
Διαθέσιμο Online:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2665917421001288
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!