High-speed chromatic confocal microscopy using multispectral sensors for sub-micrometer-precision microscopic surface profilometry

A full-field chromatic confocal microscopy (CCM) using a multispectral sensor was developed for quasi-one-shot microscopic 3D surface measurement. An innovative optical configuration employs a digital micromirror device (DMD) and a multispectral sensor is used to realize CCM with full-field area sca...

সম্পূর্ণ বিবরণ

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন

প্রধান লেখক:	Liang-Chia Chen, Pei-Ju Tan, Guo-Wei Wu, Chih-Jer Lin, Duc Trung Nguyen
বিন্যাস:	Artigo
ভাষা:	Inglês
প্রকাশিত:	Elsevier 2021-12-01
মালা:	Measurement: Sensors
বিষয়গুলি:	Chromatic confocal microscopy Multispectral sensor Optical metrology Digital micromirror device Automated optical inspection (AOI)
অনলাইন ব্যবহার করুন:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2665917421001288
ট্যাগগুলো:	ট্যাগ যুক্ত করুন কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!