Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer for In-Plane and Out-of-Plane Displacement Measurements

Grating interferometers that measure in-plane and out-of-plane displacements are not only effective two-degree-of-freedom (DOF) sensors, but are also basic units of six-DOF measurement systems. Besides resolution and accuracy, periodic nonlinear errors, misalignment tolerance, and size of reading he...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Những tác giả chính:	Di Chang, Ziqi Yin, Yunke Sun, Pengcheng Hu, Jiubin Tan, Zhigang Fan
Định dạng:	Artigo
Ngôn ngữ:	Inglês
Được phát hành:	MDPI AG 2022-11-01
Loạt:	Photonics
Những chủ đề:	grating interferometry heterodyne interferometry displacement measurement
Truy cập trực tuyến:	https://www.mdpi.com/2304-6732/9/11/830
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!