Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer for In-Plane and Out-of-Plane Displacement Measurements
Grating interferometers that measure in-plane and out-of-plane displacements are not only effective two-degree-of-freedom (DOF) sensors, but are also basic units of six-DOF measurement systems. Besides resolution and accuracy, periodic nonlinear errors, misalignment tolerance, and size of reading he...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2022-11-01
|
| মালা: | Photonics |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/2304-6732/9/11/830 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|