Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer for In-Plane and Out-of-Plane Displacement Measurements
Grating interferometers that measure in-plane and out-of-plane displacements are not only effective two-degree-of-freedom (DOF) sensors, but are also basic units of six-DOF measurement systems. Besides resolution and accuracy, periodic nonlinear errors, misalignment tolerance, and size of reading he...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2022-11-01
|
| தொடர்: | Photonics |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2304-6732/9/11/830 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|