Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer for In-Plane and Out-of-Plane Displacement Measurements

Grating interferometers that measure in-plane and out-of-plane displacements are not only effective two-degree-of-freedom (DOF) sensors, but are also basic units of six-DOF measurement systems. Besides resolution and accuracy, periodic nonlinear errors, misalignment tolerance, and size of reading he...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Di Chang, Ziqi Yin, Yunke Sun, Pengcheng Hu, Jiubin Tan, Zhigang Fan
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2022-11-01
سلاسل:	Photonics
الموضوعات:	grating interferometry heterodyne interferometry displacement measurement
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2304-6732/9/11/830
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!