লোডিং...
Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures
The development of arrays of amorphous hydrogenated silicon carbide (a–SiC:H) and silicon oxynitride (SiOxNy) based microstructures that produce ciliary motion is presented. The arrays are fabricated by bulk micromachining of c–Si substrates and they are completely based on materials obtained by a l...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Revista Mexicana de Física |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2006
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57028295015 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|