Yüklüyor......
Low-Concentration Ammonia Gas Sensors Manufactured Using the CMOS–MEMS Technique
This study describes the fabrication of an ammonia gas sensor (AGS) using a complementary metal oxide semiconductor (CMOS)–microelectromechanical system (MEMS) technique. The structure of the AGS features interdigitated electrodes (IDEs) and a sensing material on a silicon substrate. The IDEs are th...
Kaydedildi:
| Yayımlandı: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Asıl Yazarlar: | , , , , |
| Materyal Türü: | Artigo |
| Dil: | Inglês |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
MDPI
2020
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7019987/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31952151 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi11010092 |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|