تحميل...
Low-Concentration Ammonia Gas Sensors Manufactured Using the CMOS–MEMS Technique
This study describes the fabrication of an ammonia gas sensor (AGS) using a complementary metal oxide semiconductor (CMOS)–microelectromechanical system (MEMS) technique. The structure of the AGS features interdigitated electrodes (IDEs) and a sensing material on a silicon substrate. The IDEs are th...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI
2020
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7019987/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31952151 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi11010092 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|