تحميل...
Manufacture of Micromirror Arrays Using a CMOS-MEMS Technique
In this study we used the commercial 0.35 μm CMOS (complementary metal oxide semiconductor) process and simple maskless post-processing to fabricate an array of micromirrors exhibiting high natural frequency. The micromirrors were manufactured from aluminum; the sacrificial layer was silicon dioxide...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Molecular Diversity Preservation International (MDPI)
2009
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3312440/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22454581 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s90806219 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|