Thickness effects on aluminum thin films
Aluminium thin films grown with different thickness on silicon substrates were analyzed by atomic force microscopy and grazing incidence x-ray techniques. Stress on surface film was found to be greater as the thickness increases because of the substrate history. Roughness measurements made on the AF...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Superficies y vacío |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
1999
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94200973 |
| الوسوم: |
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|