Nanocrystalline GaN and GaN:H Films Grown by RF-Magnetron Sputtering

The structural and optical properties of nanocrystalline GaN and GaN:H films grown by RF-magnetronsputtering are focused here. The films were grown using a Ga target and a variety of deposition parameters(N2/H2/Arflow rates, RF power, and substrate temperatures). Si (100) and fused silica substrates...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

الحاوية / القاعدة:	Brazilian Journal of Physics
المؤلفون الرئيسيون:	D. M. G. Leite, A. L. J. Pereira, L. F. da Silva, J. H. Dias da Silva
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	Sociedade Brasileira de Física 2006
الموضوعات:	Física, Astronomía y Matemáticas
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46436548
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!