Đang tải...
Characterization of diamond-like carbon (DLC) thin films prepared by r.f. magnetron sputtering
Diamond-Like Carbon (DLC) thin films were deposited on stainless steel and silicon substrates by a r.f. (13.56 MHz) magnetron sputtering technique. A carbon target (99,99%) and a gas mixture of Ar/CH4 were used. During the deposition process the plasma discharge was monitored by Optical Emission Sp...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
1999
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94200970 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|