Đang tải...

Characterization of ALN thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering

A set of AlN thin-films was prepared by reactive magnetron sputtering at room temperature. The purpose of this work was to study the effect of oxygen impurities on the structural and optical properties of AlN films. The structural and optical properties of the resulting films were characterized usin...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Revista Mexicana de Física
Những tác giả chính: M. García-Méndez, S. Morales-Rodríguez, R. Machorro, W. De La Cruz
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: Sociedad Mexicana de Física A.C. 2008
Những chủ đề:
AlN
Truy cập trực tuyến:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016047002
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!