Mass Sensors Based on Capacitive and Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers—CMUT and PMUT

Microelectromechanical system (MEMS)-based mass sensors are proposed as potential candidates for highly sensitive chemical and gas detection applications owing to their miniaturized structure, low power consumption, and ease of integration with readout circuits. This paper presents a new approach in...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Wydane w:Sensors (Basel)
Główni autorzy: Nazemi, Haleh, Antony Balasingam, Jenitha, Swaminathan, Siddharth, Ambrose, Kenson, Nathani, Muhammad Umair, Ahmadi, Tara, Babu Lopez, Yameema, Emadi, Arezoo
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI 2020
Hasła przedmiotowe:
Review
Dostęp online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7181234/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32260081
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20072010
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy