Wird geladen...
CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices
This paper reviews CMOS (complementary metal-oxide-semiconductor) MEMS (micro-electro-mechanical systems) fabrication technologies and enabled micro devices of various sensors and actuators. The technologies are classified based on the sequence of the fabrication of CMOS circuitry and MEMS elements,...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artigo |
| Sprache: | Inglês |
| Veröffentlicht: |
MDPI
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6189935/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30407387 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7010014 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|