লোডিং...
CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices
This paper reviews CMOS (complementary metal-oxide-semiconductor) MEMS (micro-electro-mechanical systems) fabrication technologies and enabled micro devices of various sensors and actuators. The technologies are classified based on the sequence of the fabrication of CMOS circuitry and MEMS elements,...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI
2016
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6189935/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30407387 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7010014 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|