Đang tải...
Design and Characterization of a Fully Differential MEMS Accelerometer Fabricated Using MetalMUMPs Technology
This paper presents a fully differential single-axis accelerometer fabricated using the MetalMUMPs process. The unique structural configuration and common-centriod wiring of the metal electrodes enables a fully differential sensing scheme with robust metal sensing structures. CoventorWare is used in...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Molecular Diversity Preservation International (MDPI)
2013
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3690025/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/23645109 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s130505720 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|