Φορτώνει......

Design and Fabrication of a Slanted-Beam MEMS Accelerometer

This paper presents a novel capacitive microelectromechanical systems (MEMS) accelerometer with slanted supporting beams and all-silicon sandwich structure. Its sensing mechanism is quite similar to an ordinary sandwich-type MEMS accelerometer, except that its proof mass is suspended by a beam paral...

Πλήρης περιγραφή

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τόπος έκδοσης:Micromachines (Basel)
Κύριοι συγγραφείς: Xu, Wei, Yang, Jie, Xie, Guofen, Wang, Bin, Qu, Mingshan, Wang, Xuguang, Liu, Xianxue, Tang, Bin
Μορφή: Artigo
Γλώσσα:Inglês
Έκδοση: MDPI 2017
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6190107/
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi8030077
Ετικέτες: Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!