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Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate

In this study, novel p-type scallop-shaped fin field-effect transistors (S-FinFETs) are fabricated using an all-last high-k/metal gate (HKMG) process on bulk-silicon (Si) substrates for the first time. In combination with the structure advantage of conventional Si nanowires, the proposed S-FinFETs p...

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ग्रंथसूची विवरण
में प्रकाशित:Nanoscale Res Lett
मुख्य लेखकों: Xu, Weijia, Yin, Huaxiang, Ma, Xiaolong, Hong, Peizhen, Xu, Miao, Meng, Lingkuan
स्वरूप: Artigo
भाषा:Inglês
प्रकाशित: Springer US 2015
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4456591/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26055484
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-015-0958-4
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