Ładuje się......
Detectors Array for In Situ Electron Beam Imaging by 16-nm FinFET CMOS Technology
A novel in situ imaging solution and detectors array for the focused electron beam (e-beam) are the first time proposed and demonstrated. The proposed in-tool, on-wafer e-beam detectors array features full FinFET CMOS logic compatibility, compact 2 T pixel structure, fast response, high responsivity...
Zapisane w:
| Wydane w: | Nanoscale Res Lett |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Springer US
2021
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8149521/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/34032939 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-021-03552-9 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|