Estudio de las películas de paladio como barreras de difusión para contactos ohmicos en semiconductores III-V
Se reporta el desarrollo de una metodología para formar contactos ohmicos en GaSb y GaAs con barrera de difusión de paladio. Se presentan resultados del estudio de las superficies semiconductoras durante la fase de limpieza, y previo al depósito de las aleaciones metálicas de contacto. Se describe l...
Furkejuvvon:
| Publikašuvnnas: | Superficies y vacío |
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| Váldodahkkit: | , , , , |
| Materiálatiipa: | Artigo |
| Giella: | Espanhol |
| Almmustuhtton: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2005
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| Fáttát: | |
| Liŋkkat: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94218304 |
| Fáddágilkorat: |
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!
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