Estudio de las películas de paladio como barreras de difusión para contactos ohmicos en semiconductores III-V
Se reporta el desarrollo de una metodología para formar contactos ohmicos en GaSb y GaAs con barrera de difusión de paladio. Se presentan resultados del estudio de las superficies semiconductoras durante la fase de limpieza, y previo al depósito de las aleaciones metálicas de contacto. Se describe l...
Gorde:
| Argitaratua izan da: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Egile Nagusiak: | , , , , |
| Formatua: | Artigo |
| Hizkuntza: | Espanhol |
| Argitaratua: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2005
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94218304 |
| Etiketak: |
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|