Estudio de las películas de paladio como barreras de difusión para contactos ohmicos en semiconductores III-V

Se reporta el desarrollo de una metodología para formar contactos ohmicos en GaSb y GaAs con barrera de difusión de paladio. Se presentan resultados del estudio de las superficies semiconductoras durante la fase de limpieza, y previo al depósito de las aleaciones metálicas de contacto. Se describe l...

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Bibliografische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Superficies y vacío
Hauptverfasser:	I. Kudriavtsev, M. Galván-Arellano, G. Romero-Paredes, R. Peña-Sierra, J. Díaz-Reyes
Format:	Artigo
Sprache:	Espanhol
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2005
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas
Online-Zugang:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94218304
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