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Efecto de los contactos en películas delgadas de GeSbTe

Al comparar los parámetros eléctricos de películas delgadas de GeSbTe obtenidos por 3 métodos diferentes (impedancia,DC, resistividad 4 puntas) se encontró que las mediciones de impedancia son las mas apropiadas porque permite separar lacontribución del bulto y del contacto. Se determinó la dependen...

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Библиографические подробности
Опубликовано в::Superficies y vacío
Главные авторы: E. Morales Sánchez, A. Mendoza Galván, E. F. Prokhorov, J. González Hernández
Формат: Artigo
Язык:Espanhol
Опубликовано: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2002
Предметы:
Online-ссылка:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94201507
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