Bias enhanced nucleation process of polycrystalline diamond films

We have studied the bias-enhanced nucleation process in the deposition of diamond films by Microwave Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition Process (MWCVD). We have found a clear dependence between the nucleation time and the surface morphology of the polycrystalline diamond films whereas the che...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
הוצא לאור ב:Superficies y vacío
Main Authors: J. M. Albella, M.M. García, O. Sánchez, C. Gómez Aleixandre
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 1999
נושאים:
Física, Astronomía y Matemáticas
AFM
roughness
BEN process
diamond films
גישה מקוונת:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94200930
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים