Structural and Morphological Properties of Titanium Aluminum Nitride Coatings Produced by Triode Magnetron Sputtering
Tix Al1−x N coatings were grown using the triode magnetron sputtering technique varying the bias voltage between -40 V and -150V. The influence of bias voltage on structural and morphological properties was analyzed by means of energy dispersive spectroscopy, x-ray diffraction and atomic force micro...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Ingeniería y Ciencia |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Universidad EAFIT
2014
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=83531311004 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|