Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino
Presentamos el diseno de fabricaci´on de una superficie c´onica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base lat´ecnica de grabado anisotr´opico con KOH. La superficie c´onica es aproximada mediante ventanas esf´ericas. Comparaciones entre di´ametroy separaci´on de las...
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| Publicado no: | Revista Mexicana de Física |
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| Principais autores: | , , , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2005
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57064212 https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/ https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/html/ https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/57064212.epub https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/movil |
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