Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino

Presentamos el dise˜no de fabricaci´on de una superficie c´onica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base lat´ecnica de grabado anisotr´opico con KOH. La superficie c´onica es aproximada mediante ventanas esf´ericas. Comparaciones entre di´ametroy separaci´on de las...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

Wydane w:	Revista Mexicana de Física
Główni autorzy:	W. Calleja A., O. Totolhua P., F. Gracia T., A.G. Rojas H., F. Renero C., R. Pérez R.
Format:	Artigo
Język:	Espanhol
Wydane:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2005
Hasła przedmiotowe:	Física, Astronomía y Matemáticas
Dostęp online:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57064212 https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/ https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/html/ https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/57064212.epub https://www.redalyc.org/journal/570/57064212/movil
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