Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino
Presentamos el diseno de fabricaci´on de una superficie c´onica con k = ¡6:5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base lat´ecnica de grabado anisotr´opico con KOH. La superficie c´onica es aproximada mediante ventanas esf´ericas. Comparaciones entre di´ametroy separaci´on de las...
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| Pubblicato in: | Revista Mexicana de Física |
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| Autori principali: | , , , , , |
| Natura: | Artigo |
| Lingua: | Espanhol |
| Pubblicazione: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2005
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| Soggetti: | |
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