Optical sensing technique for Youngs modulus measurements in piezoelectric materials
In the design of microsensors using microelectromechanical system (MEMS) technology, it is necessary to know the elastic properties ofthe materials employed in their fabrication. Reliable mechanical properties of the materials are critical to the safety and correct functioningof these microdevices....
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| Publicado no: | Revista Mexicana de Física |
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| Principais autores: | , , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Inglês |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2008
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57054312 |
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