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Optical sensing technique for Young’s modulus measurements in piezoelectric materials

In the design of microsensors using microelectromechanical system (MEMS) technology, it is necessary to know the elastic properties ofthe materials employed in their fabrication. Reliable mechanical properties of the materials are critical to the safety and correct functioningof these microdevices....

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Revista Mexicana de Física
Main Authors: S. J. Pérez Ruiz, J.A. Montero Díaz, S. Alcántara Iniesta, R. Castañeda G., P. R. Hernández
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Sociedad Mexicana de Física A.C. 2008
Assuntos:
Acesso em linha:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57054312
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