Self-Assembly of Nanovoids in Si Microcrystals Epitaxially Grown on Deeply Patterned Substrates

[Image: see text] We present an experimental and theoretical analysis of the formation of nanovoids within Si microcrystals epitaxially grown on Si patterned substrates. The growth conditions leading to the nucleation of nanovoids have been highlighted, and the roles played by the deposition rate, s...

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রকাশিত:Cryst Growth Des
প্রধান লেখক: Barzaghi, Andrea, Firoozabadi, Saleh, Salvalaglio, Marco, Bergamaschini, Roberto, Ballabio, Andrea, Beyer, Andreas, Albani, Marco, Valente, Joao, Voigt, Axel, Paul, Douglas J., Miglio, Leo, Montalenti, Francesco, Volz, Kerstin, Isella, Giovanni
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Inglês
প্রকাশিত: American Chemical Society 2020
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8016367/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33828439
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1021/acs.cgd.9b01312
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!

অনুরূপ উপাদানগুলি