Ładuje się......

An a posteriori Error Estimate for Scanning Electron Microscope Simulation with Adaptive Mesh Refinement

The intensity variation in a scanning electron microscope is a complex function of sample topography and composition. Measurement accuracy is improved when an explicit accounting for the relationship between signal and measurand is made. Because the determinants of the signal are many, the theoretic...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Wydane w:J Sci Comput
Główni autorzy: Mitchell, William F., Villarrubia, John S.
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: 2019
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7067220/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32165785
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1007/s10915-019-00995-2
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!