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High-Speed and Direction-Controlled Formation of Silicon Nanowire Arrays Assisted by Electric Field

Metal-assisted chemical etching (MaCE), a low-cost and versatile method was considered a promising technique for preparing silicon nanowires (SiNWs), yet the lack of well controlling the injected holes within Si might reduce the etching rate, create the unwanted sidewall etching, and degrade the str...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Nanoscale Res Lett
Hauptverfasser: Chien, Pin-Ju, Wei, Ta-Cheng, Chen, Chia-Yun
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: Springer US 2020
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6990330/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32002703
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-020-3259-5
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