Загрузка...

Dual-Level Capacitive Micromachined Uncooled Thermal Detector

This paper presents a novel dual-level capacitive microcantilever-based thermal detector that is implemented in the commercial surface micromachined PolyMUMPs technology. The proposed design is implemented side-by-side with four different single-level designs to enable a design-to-design performance...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Опубликовано в: :Sensors (Basel)
Главные авторы: Tawfik, Hani H., Allidina, Karim, Nabki, Frederic, El-Gamal, Mourad N.
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: MDPI 2019
Предметы:
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6961019/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31835469
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s19245434
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!