Ładuje się......
Dual-Level Capacitive Micromachined Uncooled Thermal Detector
This paper presents a novel dual-level capacitive microcantilever-based thermal detector that is implemented in the commercial surface micromachined PolyMUMPs technology. The proposed design is implemented side-by-side with four different single-level designs to enable a design-to-design performance...
Zapisane w:
| Wydane w: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI
2019
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6961019/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31835469 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s19245434 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|