تحميل...
Resonant Pressure Micro Sensors Based on Dual Double Ended Tuning Fork Resonators
This paper presents resonant pressure micro sensors based on dual double ended tuning fork (DETF) resonators, which are electrostatically excited and piezoresistively detected. In operation, the barometric pressure under measurement bends the pressure sensitive diaphragm functioning as the anchor of...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI
2019
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6780867/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31450871 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10090560 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|