تحميل...

Resonant Pressure Micro Sensors Based on Dual Double Ended Tuning Fork Resonators

This paper presents resonant pressure micro sensors based on dual double ended tuning fork (DETF) resonators, which are electrostatically excited and piezoresistively detected. In operation, the barometric pressure under measurement bends the pressure sensitive diaphragm functioning as the anchor of...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Micromachines (Basel)
المؤلفون الرئيسيون: Lu, Yulan, Zhang, Sen, Yan, Pengcheng, Li, Yadong, Yu, Jie, Chen, Deyong, Wang, Junbo, Xie, Bo, Chen, Jian
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI 2019
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6780867/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31450871
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10090560
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!