تحميل...
A Resonant Pressure Microsensor Based on Double-Ended Tuning Fork and Electrostatic Excitation/Piezoresistive Detection
This paper presents a resonant pressure microsensor relying on electrostatic excitation and piezoresistive detection where two double-ended tuning forks were used as resonators, enabling differential outputs. Pressure under measurement caused the deformation of the pressure sensitive membrane, leadi...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI
2018
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6111385/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30071610 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s18082494 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|