تحميل...

A Resonant Pressure Microsensor Based on Double-Ended Tuning Fork and Electrostatic Excitation/Piezoresistive Detection

This paper presents a resonant pressure microsensor relying on electrostatic excitation and piezoresistive detection where two double-ended tuning forks were used as resonators, enabling differential outputs. Pressure under measurement caused the deformation of the pressure sensitive membrane, leadi...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Sensors (Basel)
المؤلفون الرئيسيون: Shi, Xiaoqing, Lu, Yulan, Xie, Bo, Li, Yadong, Wang, Junbo, Chen, Deyong, Chen, Jian
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6111385/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30071610
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s18082494
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!