লোডিং...
A Resonant Pressure Sensor Based upon Electrostatically Comb Driven and Piezoresistively Sensed Lateral Resonators
This study proposes a microfabricated resonant pressure sensor in which a pair of double-ended tuning forks were utilized as resonators where comb electrodes and single-crystal silicon-based piezoresistors were used for electrostatic excitation and piezoresistive detection, respectively. In operatio...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , , , , , , , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI
2019
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6680778/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31288381 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10070460 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|