טוען...

Scaled-Down c-Si and c-SiGe Wagon-Wheels for the Visualization of the Anisotropy and Selectivity of Wet-Chemical Etchants

Wet etching offers an advantage as a soft, damage-less method to remove sacrificial material with close to nanometer precision which has become critical for the fabrication of nanoscale structures. In order to develop such wet etching solutions, screening of etchant properties like selectivity and (...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
הוצא לאור ב:Nanoscale Res Lett
Main Authors: Pacco, Antoine, Tao, Zheng, Rip, Jens, van Dorp, Dennis, Philipsen, Harold, Holsteyns, Frank
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: Springer US 2019
נושאים:
גישה מקוונת:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6701794/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31428955
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-019-3114-8
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!