Miniaturization of CMOS

When the international technology roadmap of semiconductors (ITRS) started almost five decades ago, the metal oxide effect transistor (MOSFET) as units in integrated circuits (IC) continuously miniaturized. The transistor structure has radically changed from its original planar 2D architecture to to...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micromachines (Basel)
Hauptverfasser: Radamson, Henry H., He, Xiaobin, Zhang, Qingzhu, Liu, Jinbiao, Cui, Hushan, Xiang, Jinjuan, Kong, Zhenzhen, Xiong, Wenjuan, Li, Junjie, Gao, Jianfeng, Yang, Hong, Gu, Shihai, Zhao, Xuewei, Du, Yong, Yu, Jiahan, Wang, Guilei
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2019
Schlagworte:
Review
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6563067/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31052223
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10050293
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