Wordt geladen...

High Mobility Ge pMOSFETs with ZrO(2) Dielectric: Impacts of Post Annealing

This paper investigates the impacts of post metal annealing (PMA) and post deposition annealing (PDA) on the electrical performance of Ge p-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (pMOSFETs) with ZrO(2) dielectric. For the transistors without PDA, on-state current (I(ON)), subthresho...

Volledige beschrijving

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Gepubliceerd in:Nanoscale Res Lett
Hoofdauteurs: Liu, Huan, Han, Genquan, Liu, Yan, Hao, Yue
Formaat: Artigo
Taal:Inglês
Gepubliceerd in: Springer US 2019
Onderwerpen:
Online toegang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6560113/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31187310
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-019-3037-4
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!