Ładuje się......
Fabrication of polymeric dual-scale nanoimprint molds using a polymer stencil membrane
We report on a simple and effective process that allows fabricating polymeric dual-scale nanoimprinting molds. The key for the process is the use of a thin flexible SU-8 stencil membrane, which was fabricated by either photolithography or thermal nanoimprint lithography (NIL). The stencil membrane w...
Zapisane w:
| Wydane w: | Microelectron Eng |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
2018
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6474418/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31011235 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2018.07.009 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|