Đang tải...
Fabrication of polymeric dual-scale nanoimprint molds using a polymer stencil membrane
We report on a simple and effective process that allows fabricating polymeric dual-scale nanoimprinting molds. The key for the process is the use of a thin flexible SU-8 stencil membrane, which was fabricated by either photolithography or thermal nanoimprint lithography (NIL). The stencil membrane w...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Microelectron Eng |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
2018
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6474418/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31011235 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2018.07.009 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|