Ładuje się......

Fabrication of polymeric dual-scale nanoimprint molds using a polymer stencil membrane

We report on a simple and effective process that allows fabricating polymeric dual-scale nanoimprinting molds. The key for the process is the use of a thin flexible SU-8 stencil membrane, which was fabricated by either photolithography or thermal nanoimprint lithography (NIL). The stencil membrane w...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Wydane w:Microelectron Eng
Główni autorzy: Choi, Junseo, Jia, Zheng, Park, Sunggook
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: 2018
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6474418/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31011235
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2018.07.009
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!