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Nitrogen-Polar (000 [Formula: see text]) GaN Grown on c-Plane Sapphire with a High-Temperature AlN Buffer

We demonstrate growing nitrogen-polar (N-polar) GaN epilayer on c-plane sapphire using a thin AlN buffer layer by metalorganic chemical vapor deposition. We have studied the influence of the AlN buffer layer on the polarity, crystalline quality, and surface morphology of the GaN epilayer and found t...

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Dettagli Bibliografici
Pubblicato in:Materials (Basel)
Autori principali: Song, Jie, Han, Jung
Natura: Artigo
Lingua:Inglês
Pubblicazione: MDPI 2017
Soggetti:
Accesso online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5503403/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28772612
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/ma10030252
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