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Rapid and Accurate C-V Measurements

We report a new technique for the rapid measurement of full capacitance-voltage (C-V) characteristic curves. The displacement current from a 100 MHz applied sine-wave, which swings from accumulation to strong inversion, is digitized directly using an oscilloscope from the metal-oxide-semiconductor (...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE Trans Electron Devices
Hauptverfasser: Kim, Ji-Hong, Shrestha, Pragya R., Campbell, Jason P., Ryan, Jason T., Nminibapiel, David, Kopanski, Joseph J., Cheung, Kin P.
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: 2016
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5455788/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28579633
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1109/TED.2016.2598855
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