Ładuje się......
An Inductively Coupled Plasma Source for the Gaseous Electronics Conference RF Reference Cell
In order to extend the operating range of the GEC RF Reference Cell, we developed an inductively coupled plasma source that replaced the standard parallel-plate upper-electrode assembly. Voltage and current probes, Langmuir probes, and an 80 GHz interferometer provided information on plasmas formed...
Zapisane w:
| Wydane w: | J Res Natl Inst Stand Technol |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
[Gaithersburg, MD] : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology
1995
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4887237/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/29151752 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.6028/jres.100.032 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|