Загрузка...

High-bandwidth multimode self-sensing in bimodal atomic force microscopy

Using standard microelectromechanical system (MEMS) processes to coat a microcantilever with a piezoelectric layer results in a versatile transducer with inherent self-sensing capabilities. For applications in multifrequency atomic force microscopy (MF-AFM), we illustrate that a single piezoelectric...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Опубликовано в: :Beilstein J Nanotechnol
Главные авторы: Ruppert, Michael G, Moheimani, S O Reza
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: Beilstein-Institut 2016
Предметы:
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4778537/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26977385
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3762/bjnano.7.26
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!